선양 스타라이트 첨단 세라믹: 30년의 유산, 실리콘 카바이드에서 반도체 분야로의 전환을 개척하다

30년의 전문성을 바탕으로 실리콘 카바이드 제조 분야의 선구자인 선양 스타라이트 어드밴스드 세라믹스(주)는 전통적인 가마 설비 생산에서 반도체급 솔루션으로 전략적으로 전환하고 있습니다. 탄탄한 기술력과 글로벌 공급망 역량을 바탕으로 정밀성을 재정의할 준비가 되어 있습니다.탄화규소차세대 칩 제조를 위한 구성 요소.

가마에서 칩까지: 전략적 진화

1995년 중독 합작 투자로 설립된 선양 스타라이트는 산업용 가마 부품 생산에 주력하여 국가 첨단기술 기업으로 인정받고 20여 개국에 제품을 수출했습니다. 반도체탄화규소2028년까지 시장 규모가 100억 달러를 초과할 것으로 예상되는 가운데, 회사는 2019년 고순도 소재를 타깃으로 첨단 소재 사업부를 설립하여 다각화를 시작했습니다.탄화규소반도체 장비용 구조 부품.

대표이사 싱 씨는 "우리의 변화는 중국의 반도체 자립 추진에 부합합니다."라고 말했습니다.탄화규소열적 안정성과 순도가 뛰어나 에칭, 증착, 웨이퍼 핸들링 시스템에 필수적입니다."

전환을 주도하는 기술적 혁신

1. 초고순도 소재 혁신

이 회사는 현재 4N+(99.99%) 순도를 생산합니다.탄화규소오염에 민감한 반도체 공정에 중요한 금속 불순물을 제거하기 위해 독점적인 정제 공정을 통해 분말을 제조합니다.

다단계 소결(반응 결합, 재결정 및 열간 압착)을 통해 밀도 쉬쉬3.1 g/센티미터³가 보장되어 진공 호환성에 대한 ASML 및 전화 사양을 충족합니다.

2. 정밀 제조 역량

등방성 프레싱 및 3D 프린팅을 포함한 고급 성형 기술을 사용하면 웨이퍼 핸들링 로봇 및 허용 오차 ±0.01mm의 CVD 챔버 라이너와 같은 복잡한 형상을 구현할 수 있습니다.

독점적인 레이저 지원 가공은 기존 연삭에 비해 표면 하부 손상을 60% 줄여 리소그래피 단계에서 1nm 미만의 표면 거칠기를 구현하는 데 필수적입니다.

3. 산업 간 시너지

수십 년간의 가마 구성 요소 연구 개발 경험을 바탕으로 회사는 열 충격 방지 설계(원래는 1,600°C에서 세라믹 소결을 위해 설계)를 반도체 급속 열처리(실시간) 시스템에 적용하여 석영 대체품보다 30% 더 긴 서비스 수명을 달성했습니다.

반도체 제품 포트폴리오

웨이퍼 캐리어: 재결정화탄화규소고온 확산로용 트레이는 알루미나에 비해 입자 발생을 50% 감소시킵니다.

진공 척: 낮은 가스 방출탄화규소극자외선 리소그래피 시스템용 냉각 채널이 내장된 정전 척.

플라즈마 저항성 부품: 질화물 결합탄화규소500시간 이상의 부식성 플라즈마 테스트를 통해 검증된 에칭 도구용 보호막입니다.

협력 생태계 구축

1. 학술 파트너십: 양자점 강화 공동 개발탄화규소선양대학교와 협력하여 고진공 환경에서 웨이퍼가 달라붙는 현상을 최소화하는 코팅 기술을 개발했습니다.

2. 산업 제휴: 2024년 랴오닝 반도체 재료 컨소시엄에 가입하여 공유탄화규소SMIC와 Naura를 이용한 처리 표준.

3. 글로벌 인증: 2025년 2분기에 두 가구 연립 주택 S2 규정 준수를 획득하여 층 1 파운드리 승인의 길을 열었습니다.

과제와 미래 로드맵

전통적인 가마 제품이 여전히 매출의 65%를 차지하는 반면, 반도체 사업부는 다음을 통해 연간 40% 성장을 목표로 합니다.

생산 능력 확장: 8인치 웨이퍼 도구 수요를 충족하기 위해 2026년 3분기까지 등방성 프레싱 라인을 두 배로 늘립니다.

일체 포함 기반 품질 관리: CNC 가공 중 실시간 결함 감지를 위한 머신 비전 구현.

순환 경제: 특허받은 여과 시스템을 통해 분쇄 슬러리의 95%를 재활용하여 ESG 목표에 부합합니다.

최고기술책임자(CTO) 장 웨이는 "우리의 30년 여정은 중국의 제조업 진화를 반영합니다."라고 말했습니다. "가마 선반부터 칩 제조 공장까지, 우리는탄화규소다음 장에서는 한 번에 한 원자층씩 설명합니다."