고순도 재결정 실리콘 카바이드 용광로 튜브, 캔틸레버 패들

2025-04-07 13:37

선양 별빛: 반도체 시대를 위한 선구적인 실리콘 카바이드 솔루션

30년 이상 동안, 선양 별빛 고급의 도예 공동., 유한회사.는 실리콘 카바이드 소재 혁신의 최전선에 섰습니다. 반도체 산업이 뛰어난 열 전도성, 기계적 강도 및 화학적 안정성을 위해 실리콘 카바이드를 점점 더 많이 채택함에 따라, StarLight는 화학증착증착(화학적인 증기 침적) 코팅 전문가와 전략적 협력을 구축하기 위해 전문성을 활용하고 있습니다. 이 시너지는 첨단 반도체 제조의 엄격한 요구 사항을 충족하는 최첨단 실리콘 카바이드 구성 요소를 제공하는 것을 목표로 합니다.

유산과 현대의 수요를 만나다
1990년대 초에 설립된 StarLight는 퍼니스 튜브 및 캔틸레버 패들과 같은 중요한 구성 요소를 포함하여 고순도 실리콘 카바이드 구조 부품을 생산하는 역량을 연마했습니다. 이러한 부품은 극한의 온도, 부식성 환경 및 초청정 공정이 일상적인 반도체 제조에 없어서는 안 될 것입니다. 석영이나 금속과 같은 기존 소재는 종종 이러한 조건에서 부족하지만, 실리콘 카바이드의 고유한 특성(2,700°C를 초과하는 녹는점 및 열충격에 대한 저항성 포함)은 차세대 장비에 이상적인 후보로 자리 매김합니다.

silicon carbide

협력적 혁신: CVD의 장점
하는 동안실리콘 카바이드's의 본질적인 품질은 주목할 만하며, 화학증착증착 코팅을 통한 표면 엔지니어링은 더 많은 잠재력을 발휘합니다. StarLight의 전략에는 정밀하게 제작된탄화규소화학증착증착 파트너에게 "공백" 또는 그린 바디를 제공하여 고순도와 같은 특수 코팅을 적용합니다.탄화규소또는 맞춤형 세라믹 층—표면 경도를 높이고, 입자 생성을 줄이거나, 플라스마 침식에 대한 저항성을 개선합니다. 예를 들어, 초고밀도 CVD로 코팅된 용광로 튜브탄화규소에피택셜 반응기에서 연장된 수명을 보여 칩 생산의 가동 중지 시간을 최소화합니다.

이러한 노동 분할은 각 당사자의 강점을 최대한 활용합니다. StarLight의 거의 완벽한 형태에 대한 숙련도탄화규소소결은 치수 정확성과 구조적 무결성을 보장하는 반면, 화학증착증착 전문가는 원자 수준에서 표면 특성을 최적화합니다. 최종 제품은 반도체 장비 OEM이나 웨이퍼 파운드리와 같은 고객에게 도달하기 전에 순도(종종 99.9995% 초과), 열 성능 및 결함 밀도에 대한 엄격한 테스트를 거칩니다.

반도체 제조에서 산업 4.0을 주도하다
와이드 밴드갭 반도체와 더 작은 공정 노드(3nm 미만)로의 글로벌 전환은 내구성이 뛰어나고 오염이 없는 공정 챔버에 대한 필요성을 더욱 심화시켰습니다. StarLight의 구성 요소, 화학증착증착 후 정제는 고진공 환경에서의 입자 분리 및 염소 기반 에칭 공정에서의 저하와 같은 문제점을 해결합니다. 최근 사례 연구에 따르면 화학증착증착 코팅된 별빛 캔틸레버 패들은 선도적인 로직 칩 제조업체의 산화로에서 입자 수를 40% 줄여 수율률을 직접적으로 개선했습니다.

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재료 과학을 통한 지속 가능성
성과를 넘어 이 협업 모델은 지속 가능성을 지원합니다. S실리콘 카바이드구성 요소는 기존 대안보다 최대 10배 더 오래 지속되어 교체 빈도와 전자 폐기물을 줄입니다. 게다가 StarLight의 에너지 효율적인 소결 기술은 반도체 분야의 순 제로 야망과 일치합니다.

앞으로의 전망
극자외선 리소그래피, 반도체 열 관리 및 양자 컴퓨팅 인프라에서 실리콘 카바이드 채택이 가속화됨에 따라 StarLight는 화학증착증착 파트너십을 확장할 준비가 되었습니다. 수십 년 동안의 세라믹 엔지니어링 기술과 고급 코팅 기술을 결합함으로써 이 회사는 반도체 혁명에 발맞추는 데 그치지 않고 이를 정의하는 데 도움을 주고 있습니다. 재료 제한이 종종 진전을 방해하는 산업에서 StarLight의 협력적 접근 방식은 전문화와 공유된 전문 지식이 어떻게 기술적 도약을 이끌 수 있는지 보여줍니다.

본질적으로, 선양 스타라이트 어드밴스드 세라믹스는 단순한 공급업체가 아니라, 글로벌 반도체 제조를 재편하고 있는 실리콘에서 실리콘 카바이드로의 전환을 가능하게 하는 기업입니다.



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