선양 스타라이트 어드밴스드 세라믹스, 반도체 웨이퍼 가공용 8인치 실리콘 카바이드 3포스트 보트 성공적으로 납품

30년 이상의 업계 경험을 보유한 실리콘 카바이드 제품 분야의 선도적 제조업체인 선양 스타라이트 고급 세라믹스(주)는 최근 반도체 웨이퍼 열처리 응용 분야를 위한 특수 8인치 실리콘 카바이드 3포스트 보트를 성공적으로 개발하고 공급함으로써 중요한 이정표를 달성했습니다.

웨이퍼 처리 기술의 혁신

새롭게 개발된 8인치탄화규소3포스트 보트는 웨이퍼 처리 기술의 주요 발전을 나타내며 특히 다음을 위해 설계되었습니다.

• 200mm 반도체 웨이퍼의 고온 가공

• 중요한 제조 단계 동안 균일한 열 분포

• 클린룸 환경에서 오염 위험 감소

기술적 우월성

정밀하게 설계된 이 보트의 특징은 다음과 같습니다.

• 초고순도탄화규소재료(순도 99.99%)

• 웨이퍼 접촉 최소화를 위한 최적화된 3포스트 디자인

• 뛰어난 열 충격 저항성(최대 1,400°C의 급격한 온도 변화에도 견딤)

• 부식성 공정 가스에 대한 뛰어난 화학적 불활성

업계 요구 사항 충족

"우리 8인치탄화규소3포스트 보트는 반도체 산업에서 점점 더 늘어나는 안정적이고 고성능 웨이퍼 캐리어에 대한 수요를 충족합니다.라고 최고기술책임자(최고기술책임자(CTO))인 리 박사가 말했습니다. 3포스트 보트는 기존 석영 캐리어에 비해 서비스 수명이 길고 열 안정성이 더 뛰어나다는 등 상당한 이점을 제공합니다.

엄격한 개발 프로세스

제품 개발에는 다음이 포함되었습니다.

• 18개월간의 집중적인 R&D

• 주요 반도체 제조업체와의 협력

• 200회 이상의 열 사이클 테스트

• 엄격한 입자 오염 관리 조치

품질 보증

각 단원은 다음을 거칩니다.

• 치수 정확도 검증(±0.02mm 허용오차)

• 표면 거칠기 테스트(라 < 0.2μm)

• 종합적인 시각 검사

• 수업 100 클린룸에서 최종 세척 및 포장

응용 프로그램

현재 보트는 다음과 같은 용도로 사용되고 있습니다.

• 확산 과정

• 어닐링 처리

• 산화 과정

• CVD 응용 분야

향후 개발

이러한 성공을 바탕으로 선양 Starlight는 현재 다음과 같은 개발을 진행하고 있습니다.

• 차세대 웨이퍼 크기를 위한 12인치 버전

• 특정 프로세스 요구 사항에 맞는 맞춤형 설계

• 특수 용도를 위한 고급 코팅

회사의 약속

"30년의 세라믹 전문성을 보유한 회사로서, 우리는 반도체 소재 기술의 경계를 넓히기 위해 계속 노력하고 있습니다.으아아아 리 박사는 덧붙였습니다. "이 제품 출시는 업계에서 가장 까다로운 요구 사항을 충족하는 솔루션을 개발할 수 있는 우리의 역량을 보여줍니다.으아아아