선양 별빛 고급의 도예, 12인치 웨이퍼 가공용 정밀 451mm 오디 라이너 튜브로 반도체 제조에서 이정표 달성

30년 이상의 전문성을 바탕으로 탄화규소 제조 분야의 선구자인 선양 스타라이트 어드밴스드 세라믹스(선양 별빛 고급의 도예 주식회사., 유한회사.)는 최근 12인치 반도체 웨이퍼 제조 공정용 특수 451mm 외경(오디) 라이너 튜브를 성공적으로 공급하며 획기적인 발전을 이루었습니다. 이는 글로벌 반도체 산업의 핵심 세라믹 부품 개발에 있어 선양 스타라이트가 보여준 선도적인 입지를 다시 한번 입증합니다. 고온 웨이퍼 공정용으로 특별히 설계된 새롭게 개발된 라이너 튜브는 첨단 반도체 제조 장비의 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 최적화된 플랜지 외경 451mm를 특징으로 합니다. 뛰어난 열 안정성(작동 범위: 상온 ~ 1,450°C)을 갖춘 초고순도 탄화규소(≥99.999%)를 사용하여라이너 튜브 구성 요소는 최소 열팽창 계수(4.0×10⁻⁶/K)와 부식성 공정 가스에 대한 탁월한 내성을 보장하여 산화, 확산 및 화학 기상 증착(CVD) 공정에서 일관된 성능을 보장합니다. 라이너 튜브의 정밀 엔지니어링은 ±0.05mm 이내의 치수 공차와 라 0.1μm 미만의 표면 거칠기를 보장하며, 이는 클린룸 환경에서 웨이퍼 무결성을 유지하고 입자 오염 위험을 줄이는 데 필수적입니다.

그만큼 라이너 튜브개발 과정에는 주요 반도체 제조업체들과의 18개월에 걸친 엄격한 R&D 협업이 포함되었으며, 고급 유한 요소 해석(FEA)을 도입하여 300mm 내경 전체에 걸쳐 가스 흐름 역학 및 열 균일성을 최적화했습니다. 500회 이상의 열 사이클링 테스트를 통해라이너 튜브' 빠른 온도 변화에도 내구성이 뛰어나며, 독점적인 소결 기술을 통해라이너 튜브 극한 온도에서도 구조적 무결성을 유지합니다. 생산은 ISO 5 등급 클린룸에서 이루어지며 각 유닛은 포괄적인 라이너 튜브헬륨 누출 검사, 잔류 가스 분석(알가(RGA)), 레이저 스캐너와 좌표 측정기(CMM)를 이용한 계측 검증 등 품질 검사를 수행합니다. 첨단 로직 및 메모리 칩 생산의 선구자들은 기존 석영 라이너 대비 퍼니스 가동 중단 시간이 35% 감소하고 웨이퍼 수율이 20% 향상되었다고 보고했습니다. 이는 석영 라이너의 고유한 화학적 불활성과 유지보수 필요성 감소 덕분입니다.

이것 라이너 튜브혁신은 특히 제조업체들이 5nm 미만 노드로 전환함에 따라 반도체 산업의 증가하는 웨이퍼 크기 확대 및 공정 일관성 향상 요구에 대응합니다. 451mm 외경(오디) 설계는 차세대 수직형 퍼니스와의 완벽한 통합을 가능하게 하며, 초저금속 불순물 함량(<0.1ppb) 덕분에 민감한 공정에서 도펀트 오염을 방지합니다. Shenyang Starlight는 현재 적용 분야 외에도 스마트 기술을 적극적으로 개발하고 있습니다.라이너 튜브산업 4.0 제조 생태계와 호환되는 실시간 온도 모니터링 및 적응형 열 관리 시스템을 위한 내장형 센서가 장착된 프로토타입입니다.

30년에 걸친 역사와 2,000건 이상의 성공적인 고객 파트너십을 바탕으로, 선양 Starlight는 고성능 세라믹 분야의 혁신을 지속적으로 주도하고 있으며, 재료 과학의 우수성과 정밀 엔지니어링을 결합하여 반도체 산업의 가장 복잡한 과제를 해결하고 있습니다.