반응결합 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 소개 ：

최근 몇 년 동안 반도체 및 태양광 산업이 급속히 발전하고 있으며, 산업 규모가 급속히 증가하고 있으며, 제조 장비는 정밀성과 복잡성을 향해 계속 진화하고 있으며, 고정밀 세라믹의 핵심 구성 요소에 대한 기술적 요구 사항과 국산화 요구가 증가하고 있습니다. 이는 실리콘 카바이드 제조 기업에 새로운 발전 기회이자 전환점입니다.

실리콘 카바이드 웨이퍼 보트는 특히 반도체 제조, 야금 및 고급 세라믹 소결 분야에서 고온 산업 공정을 위한 우수한 솔루션으로 부상했습니다. 이러한 구성 요소는 실리콘 카바이드의 뛰어난 특성과 혁신적인 디자인을 결합하여 기존 세라믹 또는 흑연 대체품에 비해 뚜렷한 이점을 제공합니다.

‌1. 뛰어난 열 및 기계적 안정성‌

영어: Sic (식) 웨이퍼 보트는 뛰어난 열 충격 저항성을 보이며, 최대 1,380°C의 급격한 온도 변동에도 구조적 무결성을 유지합니다. 이러한 안정성은 실리콘 카바이드의 낮은 열 팽창 계수(4.0×10⁻⁶/°C)와 내부 응력을 최소화하는 반응 결합 공정을 결합한 데서 비롯됩니다. 산화 환경에서 500°C 이상에서 분해되는 기존 흑연 보트와 달리 영어: Sic (식) 웨이퍼 보트 구성 요소는 뛰어난 산화 저항성을 보여 반복되는 고온 사이클에서 수명을 보장합니다.

‌2. 공정 효율성을 위한 최적화된 설계‌

3포스트 구성은 확산 공정 및 화학증착증착(화학 기상 증착)와 같은 중요한 응용 분야에서 열 균일성을 향상시킵니다. 대칭형 포스트는 균일한 열 분포를 보장하여 보트 길이 전체에 걸쳐 온도 구배를 5°C 미만으로 줄입니다. 이 설계는 또한 반도체 처리 중 웨이퍼 뒤틀림을 최소화하여 평평한 바닥 보트에 비해 수율을 최대 15%까지 향상시킵니다. 개방형 구조는 더 나은 가스 흐름 역학을 용이하게 하여 대기 제어로에서 공정 일관성을 향상시킵니다.

‌3. 뛰어난 화학적 불활성‌

실리콘 카바이드 웨이퍼 보트의 비반응성 특성은 부식성 물질을 취급하는 데 이상적입니다. 반응-결합 공정을 통해 0.5% 미만의 다공성을 달성한 이 보트는 산성/알칼리성 플럭스 및 용융 금속에 대한 놀라운 내성을 보여줍니다. 태양 전지 제조에서 이 특성은 금속 오염(예: 알루미늄 또는 은)을 방지하여 불순물 수준을 1 피피비(ppb) 미만으로 유지하면서 웨이퍼 순도를 유지합니다.

현재 저희 회사는 대구경 튜브, 얇은 벽 튜브, 캔틸레버 프로펠러, 반응 접합 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 등을 ​​생산할 수 있습니다.

반응결합 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트의 장점:

1. 당사의 영어: Sic (식) 웨이퍼 보트는 고온, 마모 및 크립에 대한 내성이 뛰어납니다.

2.우리의 영어: 시크 (식)웨이퍼 보트는 충격 저항성이 높고 사용 수명이 깁니다.

3. 당사의 영어: Sic (식) 웨이퍼 보트는 밀도가 높으며 고객 요구 사항에 맞게 맞춤 제작이 가능합니다.

품질 보증 및 품질 관리 ：

우리 회사의 제품에 대한 고객 수요를 충족하기 위해 모든 생산 공정은 원자재가 공장에 들어오는 순간부터 엄격하게 통제됩니다. 모든 제품은 공장을 떠나기 전에 엄격하게 검사됩니다. 우리의 관리 시스템을 기반으로, 우리의 제품 품질 검사 및 통제는 산업 및 기업 표준을 준수합니다.