선양 스타라이트 첨단 세라믹스, 반도체 석영 보트 제조에서 획기적인 성과 달성

30년 이상의 업계 전문성을 바탕으로 탄화규소 제품을 선도하는 제조업체인 선양 스타라이트 어드밴스드 세라믹스(주)는 반도체 웨이퍼 가공용 고성능 석영 보트 시리즈를 성공적으로 개발 및 공급했습니다. 이는 첨단 반도체 제조 분야의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있는 회사의 역량을 입증하는 중요한 성과입니다.

석영 보트 기술의 혁신

수년간의 엄격한 연구 개발 및 테스트를 거쳐 선양 스타라이트는 반도체 제조 공정의 웨이퍼 열처리를 위해 특별히 설계된 석영 보트 시리즈를 완성했습니다. 주요 특징은 다음과 같습니다.

초고순도 실리콘 카바이드 소재를 사용하여 고온 공정 중 오염을 최소화합니다.

최대 1,200°C의 빠른 열 사이클을 견딜 수 있는 뛰어난 열 안정성을 갖추고 있습니다.

정밀하게 설계된 구조적 무결성으로 처리 중 웨이퍼 뒤틀림이나 손상을 방지합니다.

이러한 실리콘 카바이드 석영 보트는 재료 순도와 열 성능이 가장 중요한 웨이퍼 어닐링, 확산 및 산화 공정에 필수적입니다.

반도체 산업의 요구 충족

반도체 제조업체는 섬세한 실리콘 웨이퍼를 위한 일관되고 오염 없는 취급 솔루션을 필요로 합니다. 선양 Starlight의 탄화규소 석영 보트는 다음과 같은 기능을 제공하여 이러한 요구를 충족합니다.

• 증착 및 에칭에 사용되는 부식성 가스에 대한 뛰어난 내화학성.

• 균일한 열 분배를 위한 최적화된 설계로 웨이퍼 응력을 줄였습니다.

• 긴 서비스 수명으로 반도체 제조의 총 소유 비용이 절감됩니다.

"저희의 탄화규소 석영 보트 시리즈는 수년간의 재료 과학 개선을 나타냅니다.으아아아 회사 대변인은 이렇게 말했습니다. "저희는 고순도 석영과 탄화규소를 정밀 제조와 결합하여 반도체 생산의 엄격한 표준을 충족하는 제품을 제공합니다.으아아아

연구개발 및 품질 보증

선양 스타라이트의 성공은 다음과 같은 데서 비롯됩니다.

선도적인 학술 기관과 협력하는 전담 R&D 팀입니다.

열충격 저항성 및 입자 방출 분석을 포함한 고급 테스트 프로토콜.

ISO 9001 인증 생산으로 배치 간 일관성이 보장됩니다.

이 회사의 석영 보트는 반도체 장비 제조업체와 협력하여 광범위한 자격 시험을 거쳤으며, 이를 통해 실제 적용 환경에서 실리콘 카바이드 제품의 신뢰성이 확인되었습니다.

웨이퍼 제조 분야의 응용 분야

석영 보트 시리즈는 현재 다음 용도로 채택되고 있습니다.

• 프런트엔드 웨이퍼 처리(예: 산화, 도핑).

• 고급 패키징을 위한 백엔드 어닐링.

• 고온 안정성이 중요한 태양광 전지 제조.

향후 개발

이러한 성공을 바탕으로 선양 Starlight는 반도체 세라믹 포트폴리오를 확장하고 있으며, 다음과 같은 프로젝트를 진행하고 있습니다.

• 내구성을 강화하기 위해 실리콘 카바이드로 코팅된 석영 구성품.

• 차세대 웨이퍼 크기에 맞는 맞춤형 보트 디자인.

• 극자외선 리소그래피 호환성을 위한 저입자 방출 소재.

반도체 우수성에 대한 헌신

"반도체 제조는 빠르게 발전하고 있으며, 우리는 고객의 성공을 뒷받침하는 최첨단 세라믹 솔루션을 제공하기 위해 최선을 다하고 있습니다.으아아아 대변인은 이렇게 덧붙였습니다.