소개 ~의 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 캐리어:

반도체 제조에서 실리콘 카바이드 보트 캐리어의 장점

빠르게 진화하는 반도체 및 태양광 산업에서 재료 혁신은 공정 효율성과 제품 성능을 향상시키는 데 중요한 역할을 합니다. 중요한 구성 요소 중 실리콘 카바이드 보트 캐리어(웨이퍼 보트 또는 카세트라고도 함)는 기존 석영 또는 흑연 캐리어에 대한 우수한 대안으로 부상했습니다. 뛰어난 열적, 기계적 및 화학적 특성을 갖춘 실리콘 카바이드 보트 캐리어는 고온 반도체 제조 공정에서 타의 추종을 불허하는 신뢰성과 수명을 제공합니다. 아래에서 실리콘 카바이드 보트 캐리어의 주요 이점과 현대 제조에 미치는 혁신적인 영향을 살펴보겠습니다.

실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 홀더의 주요 특징:

‌1. 뛰어난 열 안정성 및 전도성‌

실리콘 카바이드의 초고열전도도(120-270 W/m·K)와 낮은 열팽창 계수는 급격한 온도 변동에서도 최소한의 열응력을 보장합니다. 1,200°C 이상의 온도에서 휘거나 균열이 생기기 쉬운 석영 캐리어와 달리 실리콘 카바이드 보트 캐리어는 1,600°C를 초과하는 온도에서도 구조적 무결성을 유지합니다. 이는 정밀한 온도 제어가 필수적인 화학 기상 증착(화학증착증착), 에피택시얼 성장 및 확산과 같은 중요한 공정에 이상적입니다. 이 소재의 열충격 저항성은 캐리어 고장으로 인한 가동 중단 시간을 줄여 생산 처리량을 높입니다.

‌2. 향상된 기계적 견고성‌

SiC의 고유 경도(9.2-9.5 모스)와 굽힘 강도(350-600 엠파)는 석영이나 흑연의 경도를 훨씬 능가합니다. 이러한 기계적 내구성은 웨이퍼 취급 시 입자 생성과 파손을 줄여 오염 위험을 최소화합니다. 반도체 제조업체는 캐리어 수명이 길어져(석영 대체품보다 최대 10배 더 길어) 교체 비용이 낮아지고 투자 수익률(투자수익률)이 향상됩니다.

실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 액세서리는 구조가 안정적이고 재료의 열 안정성이 좋으며 고온에서 사용 시 변형되지 않습니다. 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 부품은 수명이 깁니다. 실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 캐리어는 높은 광전지 문제를 효과적으로 해결합니다. 하중 용량 하에서 하중 지지 구성 요소의 손실 문제.

실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 홀더의 적용 범위:

실리콘 카바이드 웨이퍼 보트 부속품은 태양광 등급 셀 확산 공정 장비의 주요 하중 지지 구성품에 적합합니다.

회사 소개：

중국의 중요한 산업 및 첨단 장비 제조 기지인 랴오닝성 선양에 위치한 선양 스타라이트 고급 세라믹스 유한회사는 세계적 수준의 설계, R&D 혁신, 안정적인 품질, 방대한 용량을 갖춘 세계 최고의 새로운 실리콘 카바이드 원료 및 제품 제조 기업으로, 제품은 해외 20여 개국 및 지역으로 수출됩니다. 회사는 수년에 걸쳐 기업 철학의 성실성을 고수하여 고객에게 최상의 품질의 서비스를 제공합니다.