
실리콘 카바이드 기반 반도체 핵심부품 공장 착공식 시작
선양 스타라이트고급의세라믹스, 신규 생산 시설로 반도체 생태계 확장에 박차
1995년 파인 테크니컬 세라믹스(괜찮은 인위적인 도예 GmbH)와의 역사적인 중-독 합작법인을 통해 설립된 중국의 선구적인 첨단 실리콘 카바이드 가마 가구 제조업체인 선양 스타라이트 첨단 세라믹스(선양 별빛 고급의 도예 주식회사., 유한회사.)는 오늘 반도체 공급망 통합을 향한 전략적 도약을 발표했습니다. 회사는 2025년 6월 10일 반도체 핵심 부품 생산 시설과 CVD(화학 기상 증착) 작업장 건설을 시작하며 30년간의 기술 혁신 여정에서 획기적인 전환점을 맞이했습니다.
전략적 확장 개요
3억 5천만 달러 규모의 이 투자 프로젝트는 반도체 제조 분야의 수직적 통합에 대한 선양 Starlight의 의지를 강화합니다.
핵심 구성 요소 시설: 웨이퍼 핸들링, 열 관리, 공정 챔버를 위한 초고순도 실리콘 카바이드 부품을 대량 생산하는 데 전념합니다.
CVD 워크숍: 플라즈마 저항성 및 부식 방지층을 포함한 반도체 장비를 위한 고급 실리콘 카바이드 코팅을 전문으로 합니다.
통합 R&D 센터: 최첨단 소재 분석 실험실과 공정 시뮬레이션 시스템을 갖추고 있습니다.
기술적 역량
새로운 시설은 선양 Starlight의 기존 강점을 활용할 것입니다.
재료 전문성: 30년의 RSiC(재결정 실리콘 카바이드) 및 엔씨씨(질화 결합 실리콘 카바이드) 생산 경험
품질 유산: 중국 최초의 ISO 9001 인증 실리콘 카바이드 가마 제조업체(2002)
정밀 엔지니어링: 반도체 등급 부품에서 0.01mm 미만의 가공 정확도 입증
글로벌 인지도: 20개국 이상에서 35%의 수출 점유율(2024년 세관 데이터 기준)
시설 사양
반도체 부품 공장
클린룸 표준: ISO 5-7 등급 환경
생산 용량: 연간 50,000개 이상의 정밀 부품
주요 제품:
12인치 웨이퍼 캐리어(450mm 오디)
CVD/씨비아이 공정 튜브
에칭 시스템용 에지 링 구성 요소
CVD 코팅 워크숍
증착 기술: 혈전색전술(PECVD), LPCVD 및 알디 기능
코팅 성능:
≤0.05μm 표면 거칠기
99.999% 순도 코팅
10,000회 이상의 사이클 내구성
산업 영향
이 확장은 다음과 같은 중요한 공급망 요구 사항을 해결합니다.
국산화: 수입 반도체 부품 의존도 40% 감소
기술적 혁신: 독점적인 고엔트로피 실리콘 카바이드 코팅 개발
지속 가능성: 폐쇄 루프 재료 재활용 시스템 구현
연구개발 협력
이 프로젝트는 다음과 같은 기존 파트너십을 기반으로 진행됩니다.
청화대학교: 일체 포함 기반 프로세스 최적화 시스템 공동 개발
노스이스턴 대학교: 대형 포맷 구성 요소를 위한 고급 열 응력 모델링
CAS 연구소: 차세대 세라믹 매트릭스 복합재
프로젝트 타임라인
2025년 6월: 기초 완료
2025년 4분기: 장비 설치
2026년 2분기: 파일럿 생산
2027년: 전체 용량 운영
리더십 관점
"이 확장은 킬른 전문 기업에서 반도체 솔루션 설계자로의 진화를 의미합니다.으아아아 회장인 류 창춘 씨는 이렇게 말했습니다. 으아아아 CVD 기능을 정밀 제조와 통합함으로써 3nm 노드 팹을 위한 완벽한 하위 시스템 솔루션을 제공할 수 있는 위치에 있습니다.으아아아
시장 포지셔닝
이 이니셔티브는 중국의 반도체 자립 목표와 일치하며 다음을 목표로 합니다.
2028년까지 국내 실리콘 카바이드 부품 시장점유율 25% 달성
고급 실리콘 카바이드 코팅의 리드타임이 50% 단축되었습니다.
수입 대체품 대비 30% 비용 이점
지속 가능성에 대한 약속
에너지 효율성: 폐열 회수를 통해 전력 소비량 40% 감소
배출 제어: CVD 공정에서 99.9% 미립자 여과
재료 활용: 일체 포함 최적화 가공을 통해 95% 이상의 수율 달성
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